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GB50472-2013潔凈廠房設計規范
GB50472-2008-電子工業潔凈廠房設計規范
■ 服務領域:精密機械制造、汽車零部件生產、電訊設備制造、光學儀器儀表生產等。
■ 重點注意事項:
1、人流
1-1、人員凈化:
1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;
1-3、單人空氣吹淋室,應按最大班人數30人設一臺。潔凈室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;
1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室,宜設氣閘室。
2、物流
2-1、潔凈室內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。
2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
3、靜壓差
3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;
3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;
3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。
4、潔凈室空氣潔凈度等級表
空氣潔凈度等級(N) |
大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m³) |
|||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
1 |
10 |
2 |
-- |
-- |
-- |
-- |
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
-- |
-- |
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
-- |
4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
-- |
5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
7 |
-- |
-- |
-- |
352000 |
83200 |
29300 |
8 |
-- |
-- |
-- |
3520000 |
832000 |
29300 |
9 |
-- |
-- |
-- |
35200000 |
8320000 |
293000 |
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